Oro kompresorius be alyvos, skirtas puslaidininkių laboratorijoms

Norėdami sukurti patikimas komunalinių paslaugų linijas tiksliųjų tyrimų įrenginiams, „Semiconductor Labs“ tiekėjams įsigykite „China Oil Free Air Compressor“. DECHUAN didelio grynumo oro sprendimuose naudojami daugiasluoksniai anglies izoliaciniai sandarikliai, siekiant pašalinti angliavandenilių pėdsakus, užtikrinant nesugadintą dujų kokybę kritiniam silicio ėsdinimui.

Kritiniai švarios patalpos dujų grynumo reikalavimai

Gaminant puslaidininkius ir plonasluoksnę litografiją, net vienas mikroskopinis alyvos garų lašas, perneštas per oro liniją, gali sugadinti visą gamybos partiją. Šis specializuotas produktas yra sukurtas taip, kad atitiktų aukščiausius grynumo standartus:

• TÜV sertifikuota 0 klasės oro tiekimas: mūsų sistemos yra kruopščiai išbandomos esant kintamoms darbo temperatūroms. Nepriklausoma analizė patvirtina, kad išeinančio oro sraute nėra jokių alyvos pėdsakų.

• Nekoroziniai vidaus oro keliai: kiekvienas vamzdyno gabalas, aušintuvo pluoštas ir atskyrimo matrica po suspaudimo kameros yra pagaminti iš aukščiausios kokybės nerūdijančio plieno, kad rūdžių dribsniai neužterštų švarios patalpos oro linijų.

• Išplėstinė Elektronikon® integracija: integruotas valdiklis atidžiai seka veikimo metrikas ir turi aktyvų saugos išjungimą, kad į laboratorijos tinklą nepatektų nešvarus oras.

Didelės elektronikos mikro užteršimo kainos

Puslaidininkinių plokštelių gamyboje vienas aliejaus aerozolio lašelis gali užteršti visą švarios patalpos aplinką, sugadindamas tūkstančius silicio plokštelių ir sugadindamas milijonus gamybos laiko. Tradiciniai oro kompresoriai negali garantuoti absoliutaus nulinio angliavandenilių grynumo, reikalingo šiems nanometrų skalės procesams.

Specializuotas oro kompresorius be alyvos, skirtas Semiconductor Labs, garantuoja gryną proceso saugumą:

• Sertifikuotas 0 KLASĖS oro srautas: griežtai išbandytas TÜV ekstremaliuose šiluminiuose ir slėgio diapazonuose, kad būtų užtikrintas absoliutus nulinis alyvos buvimas.

• Vidinės dalelės be dalelių: nerūdijančio plieno išankstiniai aušintuvai ir žvaigždiniai šilumokaičiai pašalina oksidacijos dribsnius arba cheminių medžiagų išsiliejimą oro kelyje.

• Elektroninis stebėjimo skydas: aktyvūs techninės priežiūros signalai ir automatinis gedimų išjungimas apsaugo nuo sistemos nukrypimų prieš jiems pasiekiant švarios patalpos įrankius.

Techniniai grynumo parametrai

• Sistemos galia: 55kw - 900kw didelio tankio konfigūracijos.

• Tūrinis pristatymo greitis: 4,2–148,5 m³/min švaraus srauto išeiga.

• Alyvos kiekio klasifikacija: ISO 8573-1 0 klasės patvirtinimas visiškai be alyvos.

• Aušinimo išdėstymas: nerūdijančio plieno skysčio aušinimas, neleidžiantis cheminėms dujoms išsiskirti.

Įrenginio veikimo etaloninės sąlygos buvo išmatuotos pagal ISO 1217 C priedą, 4-ąjį leidimą (2009 m.):

· Santykinė drėgmė: 0 %

· Absoliutus įėjimo slėgis: 1 baras

· Įleidimo temperatūra: 20°C Išleidimo greitis (FAD) buvo matuojamas esant šiems darbiniams slėgiams:

Pastovaus greičio tipas:

·  -7,5 baro tipas: 7 barai

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10 barų tipas: 9 barai

VSD tipas:

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10,4 bar tipas: 9 barai

· (2) A klasės svertinis darbo vietos garso slėgio lygis (LpWSAd). Matuota pagal ISO 2151:2004 (naudojant 150 9614/2 garso intensyvumo skenavimo metodą). Naujai pridėtas pataisos koeficientas yra visiškai neapibrėžta reikšmė (KpAd), atitinkanti bandymo kodą.

· (3) Svoris skirtas tik nuorodai; pirmenybę teikia faktinis pristatytas svoris.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Pagal ISO 1217 C priedą, 4-ąjį leidimą (2009 m.), įrenginio veikimo etaloninės sąlygos yra šios:

· Santykinė drėgmė: 0 %

· Absoliutus įėjimo slėgis: 1 baras

· Įleidimo temperatūra: 20°C

Poslinkis FAD matuojamas esant šiems darbiniams slėgiams:

Pastovaus greičio modeliai:

-7,5 baro modeliai: 7 barai

-8,6 baro modeliai: 7 barai

-10 barų modeliai: 9 barai

VSD modeliai:

-8,6 baro modeliai: 7 barai

-10,4 baro modeliai: 9 barai

(2) A klasės svertinis darbo vietos garso slėgio lygis (LpWSAd). Matuojama pagal ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 garso intensyvumo skenavimo metodas). Naujai pridėtas pataisos koeficientas KpAd yra neaiškus ir atitinka bandymo kodą.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Svoris skirtas tik nuorodai; galioja faktinis svoris.

ZR / ZT 200-275 (FF)

- Santykinė drėgmė: 0 %

-Absoliutus įėjimo slėgis: 1baras

- Įleidimo temperatūra: 20 ° ℃

Iškrovos greitis (FAD) buvo matuojamas esant šiems darbiniams slėgiams

Pastovaus greičio tipas:

-7,5 baro tipas: 7 barai

-8,6 baro tipas: 7 barai

-10 barų tipas: 9 barai

VSD tipas:

-8,6 baro tipas: 7 barai

-10,4 baro tipas: 9 barai

(2) A klasės svertinis darbo vietos garso slėgio lygis (LpWSAd).

Išmatuota pagal ISO 2151:2004 (naudojant 150 9614/2 (garso intensyvumo skenavimo metodas).

Naujai pridėtas pataisos koeficientas yra visiškai neapibrėžta reikšmė (KpAd), atitinkanti bandymo kodą.

(3) Svoris skirtas tik nuorodai; pirmenybę teikia faktinis pristatytas svoris.

300-750 ZR

Įrenginio veikimo etaloninės sąlygos buvo išmatuotos pagal ISO 1217 C priedą, 4-ąjį leidimą (2009 m.):

· Santykinė drėgmė: 0 %

· Absoliutus įėjimo slėgis: 1 baras

· Įleidimo temperatūra: 20°C Išleidimo greitis (FAD) buvo matuojamas esant šiems darbiniams slėgiams:

Pastovaus greičio tipas:

·  -7,5 baro tipas: 7 barai

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10 barų tipas: 9 barai

VSD tipas:

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10,4 bar tipas: 9 barai

· (2) A klasės svertinis darbo vietos garso slėgio lygis (LpWSAd). Matuota pagal ISO 2151:2004 (naudojant 150 9614/2 garso intensyvumo skenavimo metodą). Naujai pridėtas pataisos koeficientas yra visiškai neapibrėžta reikšmė (KpAd), atitinkanti bandymo kodą.

· (3) Svoris skirtas tik nuorodai; pirmenybę teikia faktinis pristatytas svoris.

ZR 200X-400X

Įrenginio veikimo etaloninės sąlygos buvo išmatuotos pagal ISO 1217 C priedą, 4-ąjį leidimą (2009 m.):

· Santykinė drėgmė: 0 %

· Absoliutus įėjimo slėgis: 1 baras

· Įleidimo temperatūra: 20°C Išleidimo greitis (FAD) buvo matuojamas esant šiems darbiniams slėgiams:

Pastovaus greičio tipas:

·  -7,5 baro tipas: 7 barai

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10 barų tipas: 9 barai

VSD tipas:

· -8,6 baro tipas: 7 barai

· -10,4 bar tipas: 9 barai

· (2) A klasės svertinis darbo vietos garso slėgio lygis (LpWSAd). Matuota pagal ISO 2151:2004 (naudojant 150 9614/2 garso intensyvumo skenavimo metodą). Naujai pridėtas pataisos koeficientas yra visiškai neapibrėžta reikšmė (KpAd), atitinkanti bandymo kodą.

· (3) Svoris skirtas tik nuorodai; pirmenybę teikia faktinis pristatytas svoris.

„Cleanroom Laboratory“ naudotojo atvejo tyrimas

Elektronikos gamintojas Azijoje įdiegė specializuotą DECHUAN oro sistemą, skirtą didelio grynumo azoto generavimo kilpoms ir pneumatinėms bandymo rankoms tiekti. Anksčiau standartiniai kompresoriai leisdavo alyvos garams prasiskverbti pro vidinius filtrus, padengdami litografijos lęšius ir sukeldami plokštelių dangų mikro įtrūkimus. Įdiegus alyvos neturintį oro kompresorių, skirtą Semiconductor Labs, laboratorija pranešė apie nulinius su alyva susijusius linijos užteršimo incidentus, todėl per dvejus nepertraukiamo veikimo metus buvo sutaupytos didelės švarios patalpos valymo ir perkalibravimo išlaidos.

Individualių komponentų siuvimas ir valdymas

• Nerūdijančio plieno medžiagos atnaujinimas: mes pakeičiame visus standartinius vidinius liejinius komponentus aukštos kokybės nerūdijančiu plienu, kad atitiktume griežtas mikrotaršos gaires.

• Išplėstiniai ryšio protokolai: įrenginyje iš anksto įdiegti specializuoti ryšio protokolai, leidžiantys švarių patalpų valdymo centrams nuotoliniu būdu stebėti oro metriką.

• Kompaktiškas struktūrinis plotas: vidinis išdėstymas optimizuotas, kad būtų sumažintas plotas, todėl jį lengva montuoti ankštose laboratorijos rūsyje.

Pramonės pirkėjų DUK

Kl.: Ar galime prijungti šį kompresorių tiesiai prie itin didelio grynumo (UHP) filtravimo kilpų?

A: Taip, mūsų oro srautas yra visiškai suderinamas su pažangiomis švarių patalpų sausinimo džiovyklomis ir submikronų dalelių filtravimo sistemomis. Kadangi neapdorotame ore nėra alyvos garų, jūsų naudojami specializuoti filtrai nebus užsikimšę alyvos rūku ir prailgins filtro tarnavimo laiką.

Kl .: Kaip Z tipo sandarikliai užtikrina nulinę alyvos migraciją iš reduktoriaus agregato?

A: Semiconductor Labs skirtas oro kompresorius be alyvos turi fizinę atmosferos ventiliacijos erdvę tarp alyva sutepto pavaros korpuso ir sausos suspaudimo kameros. Specializuoti bekontakčiai anglies žiediniai sandarikliai yra suporuoti su neigiamo slėgio kanalais, užtikrinant, kad pavarų dėžės alyvos rūkas visiškai nepatektų į švaraus oro srautą.

Kl.: Kas atsitiks, jei vidinis temperatūros jutiklis aptinka nenormalų rodmenį?

A: Elektronikon® valdiklis kelis kartus per sekundę atrenka svarbius duomenis. Jei bet kuriame etape aptinkamas temperatūros šuolis, sistema akimirksniu automatiškai išsijungia ir uždaro izoliacinius vožtuvus, užtikrindama, kad neatvėsęs oras niekada nepatektų į jautrią jūsų laboratorijos įrangą.